真空泵

真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡庙氂星凹?jí)泵配合方可使用在較
[1]寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。真空泵分類廣泛，主要有WLW系列立式無油真空泵、W型往復(fù)式真空泵、2X,2XZ型旋片式真空泵、ZJ，ZJH型羅茨真空泵（ZJH型為專利產(chǎn)品）、2SK，SK型水環(huán)式真空泵、2BV，2BA型水環(huán)式真空泵、
[2]H,2H型滑閥真空泵、TLZ型真空泵、SL型羅茨鼓風(fēng)機(jī)、JZJHX型羅茨旋片真空機(jī)組、JZJHS型羅茨水環(huán)真空機(jī)組、JZJHWLW型立式無油真空機(jī)組、JZJP型羅茨水噴射真空機(jī)組、JZJHBA型羅茨水環(huán)真空機(jī)組、RPP型水噴射真空泵、JZJH2H型羅茨滑閥式真空
[3]機(jī)組等型號(hào)。 　　真空泵廣泛用于塑料機(jī)械、農(nóng)藥化工、染料化工、磚瓦機(jī)械、低溫設(shè)備、造紙機(jī)械、醫(yī)藥化工、食品機(jī)械、工業(yè)電爐、電子行業(yè)、真空設(shè)備、化肥、冶金、石油、礦山、地基處理等領(lǐng)域。 　　
2BA型水環(huán)式真空泵是為滿足真空泵可帶水吸氣這一要求，在原SKF型和2FA型水環(huán)式真空泵的基礎(chǔ)上，自行開發(fā)研制而成的新一代水環(huán)式真空泵。它設(shè)計(jì)先進(jìn)、結(jié)構(gòu)新穎，適用于各種較為苛刻、復(fù)雜的應(yīng)用領(lǐng)域。它可抽吸含有大量水氣，可凝汽的介質(zhì)，在抽吸易燃，易爆或有毒、有腐蝕性氣體時(shí)不易發(fā)生危險(xiǎn)，故可廣泛應(yīng)用于機(jī)械、石油、化工、電力、制藥、食品、陶瓷、制糖、印染、冶金、塑料、瓦磚、皮革等行業(yè)，特別適用于塑料配套使用，2BA型水環(huán)式真空泵分別取代SZ、SK、2SK-3、2SK-6、2S-185、2SK-230和W型往復(fù)式真空泵。 　　
人們?cè)谑褂眠^程中經(jīng)常碰到輸送化學(xué)氣體，這就需要引進(jìn)耐腐蝕真空泵的新概念。它是利用陶瓷、不銹鋼、合金等特殊介質(zhì)來做過流部分的，真正符合了通常的“耐磨、耐酸、耐堿、耐高溫”的要求。

真空泵-機(jī)械原理

　　GG－17玻璃膨脹系數(shù)低，能更好地耐受很高的溫度差變，故該泵比同型泵能受得起高溫而且使用壽命也更長。該泵適用于電子工業(yè)，如電子管。顯像管。X光管，以及半導(dǎo)體單晶硅的冶煉提純，高沸點(diǎn)的油脂蒸餾提純分離，日光燈，保溫瓶高真空排氣的儀器。 先由轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵把系統(tǒng)抽到10-2Pa擴(kuò)散泵油被加熱沸騰,以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)內(nèi)氣體分子帶到泵的側(cè)臂彎管球泡處集結(jié),待氣體密度達(dá)到機(jī)械真空泵的工作范圍而被抽出,從而逐漸獲得高真空.。 　　水環(huán)真空泵（簡稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱為水環(huán)式壓縮機(jī)，是屬于低壓的壓縮機(jī)，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。 　　水環(huán)泵最初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。 　　在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?　　羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互中真空泵需要前級(jí)泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。 　　羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。

真空泵-機(jī)械分類
　　 按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。氣體輸送泵包括：1、液環(huán)真空泵（水環(huán)式真空泵）2、往復(fù)式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復(fù)合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴(kuò)散泵等。氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。工業(yè)中應(yīng)用最多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。 　　按其真空度可以分為：粗真空、高真空、超高真空三大類。 　　粗真空系列： 　　2SK、SK系列雙級(jí)水環(huán)式真空泵 ( Model 2SK、2SK-P1 Water Ring Vacuum Pump ) 　　主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結(jié)構(gòu)簡單，使用方便、工作可靠、維護(hù)方便的特點(diǎn)。 　　2BA、2BV系列水環(huán)式真空泵( Model 2BA Water Ring Vacuum Pump ) 　　
主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕，不溶于水，含有少量固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應(yīng)用于機(jī)械、制藥、食品、石油化工等行業(yè)中。

W型往復(fù)式真空泵( Model W Piston Vacuum Pump ) 　　
是獲得粗真空的主要真空設(shè)備之一。廣泛應(yīng)用于化工，食品，建材等部門，特別是在真空結(jié)晶，干燥，過濾，蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。 　　

WLW型立式無油真空泵（ WLW Vertical Oil-Free ）
WLW型無油(耐腐蝕)立式往復(fù)真空泵是W型臥式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，是獲得粗真空的主要設(shè)備。由于采用全密封裝置，實(shí)現(xiàn)了曲軸箱和汽缸的完全隔離；加上活塞環(huán)使用了自潤滑材料，便實(shí)現(xiàn)了先進(jìn)的無油潤滑。由于無污水排放，所以該型真空泵特別適用于化工、醫(yī)藥和食品等行業(yè)的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。 　　高真空系列： 　　
H、2H型滑閥式真空泵（Rotary Piston Vacuum Pump） 　　
廣泛應(yīng)用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗(yàn)等新材料、新技術(shù)、新工藝的生產(chǎn)與研制中。 　　滑閥真空泵可單獨(dú)使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴(kuò)散泵的前級(jí)泵的使用。當(dāng)抽吸對(duì)黑色金屬有腐蝕、對(duì)真空油起化學(xué)反應(yīng)、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時(shí)，需附加裝置。 優(yōu)點(diǎn)：相比旋片式真空泵耐用5倍以上，有取代旋片真空泵的趨勢。價(jià)格相對(duì)高一點(diǎn)。 　　2X型旋片式真空泵 　　用來抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一。它可以單獨(dú)使用，也可作為增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵的前級(jí)泵使用。該型泵廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械、電子、化工、石油、醫(yī)藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。

2XZ型旋片式真空泵( Model 2XZ Sliding Vane Rotary Vacuum Pump ) 　　
具有結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動(dòng)小等優(yōu)點(diǎn)。所以，它適用于作擴(kuò)散泵的前級(jí)泵，而且更適用于精密儀器配套和實(shí)驗(yàn)室使用。例如：質(zhì)譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機(jī)等。 　　

ZJH系列羅茨真空泵( Model ZJH Roots Vacuum Pump ) 　　
是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡庙氂星凹?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機(jī)組的主泵，不能單獨(dú)使用。需要用前級(jí)泵輔助。如：水環(huán)式真空泵，滑閥真空泵，立式無油真空泵，分子真空泵等。最大羅茨真空泵保持紀(jì)錄為10000L/S生產(chǎn)企業(yè)為上海益化真空設(shè)備有限公司（成功運(yùn)用于中國石化集團(tuán)）。 　　
JZJH2H羅茨滑閥真空機(jī)組(Roots Pump with Rotary Piston Pump Vacuum System) 　　
由羅茨真空泵與滑閥真空泵串聯(lián)組成，滑閥真空泵作為預(yù)抽真空泵以及羅茨真空泵的前級(jí)真空泵使用，羅茨真空泵左右主抽真空泵。羅茨真空泵與滑閥真空泵抽速比大小選擇的主要依據(jù)是真空機(jī)組長期工作的真空度，真空機(jī)組長期工作區(qū)間在低真空，宜選擇較小的抽速比（2：1至4：1），如果真空機(jī)組長時(shí)間在高真空工作，則可選擇較大的抽速比（4:1至10：1）

羅茨滑閥真空泵機(jī)組。推薦企業(yè)：浙江真空設(shè)備集團(tuán)有限公司、海門市華豐真空設(shè)備有限公司等。 　　
JZJHX型羅茨——旋片泵機(jī)組( Model JZJHX Roots-Sliding Vane Rotary Vacuum Pump System ) 　　
JZJHX型羅茨--旋片泵機(jī)組是以羅茨泵為主泵，以旋片泵為前泵串聯(lián)而成。其結(jié)構(gòu)緊湊，操作方便。使用于抽除空氣及其它無可凝性及無腐蝕性氣體，廣泛應(yīng)用于需要大抽速和高真空的各種真空系統(tǒng)中。如：真空冶煉、電力電容器、變壓器、真空浸漬處理、真空鍍膜設(shè)備中的預(yù)抽等。 　　
JZJHS型羅茨——水環(huán)泵機(jī)組 ( Model JZJHS Roots-Water Ring Vacuum Pump System ) 　　本機(jī)組由于采用水環(huán)泵作為前級(jí)泵，因而特別適用于抽除含有大量水蒸氣和帶有一定腐蝕性和可凝性氣體的工藝過程中。如：真空蒸餾、蒸發(fā)、脫水、結(jié)晶、干燥等工藝過程中。 　

JZJHBA型羅茨——水環(huán)泵機(jī)組 ( Model JZJHBA Roots-Water Ring Vacuum Pump System ) 　　本機(jī)組由于采用水環(huán)泵作為前級(jí)泵，因而特別適用于抽除含有大量水蒸氣和帶有一定腐蝕性和可凝性氣體的工藝過程中。如：真空蒸餾、蒸發(fā)、脫水、結(jié)晶、干燥等工藝過程中.
[編輯本段]真空泵-機(jī)械選擇
選擇真空泵注意事項(xiàng)： 　　
1、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。 　　
2、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆�；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。 　
3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 　　
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。 　　
5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。 　　
6、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。 　　
7、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。 　　
8、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，最好能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。 　　
9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。

真空泵-機(jī)械安裝

1、真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場所，周圍應(yīng)留有充分的余地，便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。 　　安裝原理圖
2、真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，振動(dòng)小。 　　
3、真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對(duì)小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對(duì)小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時(shí)應(yīng)清除管道中焊渣，嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入真空泵腔。） 　　
4、在連接管路中，用戶可在真空泵進(jìn)氣口上方安裝閥門及真空計(jì)，隨時(shí)可檢查真空泵的極限壓力。 　　
5、按電動(dòng)機(jī)標(biāo)牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。 　　
6、真空泵通電試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，須取下電機(jī)皮帶，確認(rèn)真空泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用，以防真空泵反轉(zhuǎn)噴油。（轉(zhuǎn)向按防護(hù)罩指示方向） 　　
7、對(duì)于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。 　　
8、如真空泵口安裝電磁閥時(shí)，閥與真空泵應(yīng)同時(shí)動(dòng)作。 　　
9、當(dāng)真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時(shí)，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。

真空泵-注意事項(xiàng)
　　 真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。因此，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到最佳配置，選擇真空系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)考慮下述各點(diǎn)： 　　確定工作真空范圍 　　首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必須認(rèn)真研究確定之。 　　確定極限真空度 　　在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的最佳工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的極限真空度低50%。 　　被抽氣體種類與抽氣量 　　檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻�被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。 　　真空容積 　　檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。 　　考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。 　　主真空泵的選擇計(jì)算 　　s=2.303v/tlog(p1/p2) 　　其中： 　　s為真空泵抽氣速率(l/s) 　　v為真空室容積(l) 　　t為達(dá)到要求真空度所需時(shí)間(s) 　　p1為初始真空度(torr) 　　p2為要求真空度(torr)
[編輯本段]真空泵-機(jī)械使用
　　 真空泵（簡稱旋片泵）工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2（Pa）屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。 　　旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。 　　旋片泵是真空技術(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂雙級(jí)，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級(jí)的，以獲得較高的真空度。 　　旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。 　　旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。 　　兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A 的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強(qiáng)降低，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時(shí)，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強(qiáng)時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)（低真空級(jí)），由低真空級(jí)抽走，再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排至大氣中，即組成了雙級(jí)泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來負(fù)擔(dān)，因而提高了極限真空度。
[編輯本段]真空泵-油的要求
　　 在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì)，還對(duì)機(jī)械摩擦點(diǎn)起潤滑、冷卻和密封作用。 　　真空泵油主要性能要求： 　　　1.極低的蒸氣壓 　　這是真空泵油的最重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油，對(duì)于擴(kuò)散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。 　　2.合適的粘度和良好的粘溫特性 　　真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。 　　3.良好的熱氧化安定性 　　真空泵不斷向高速度發(fā)展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴(kuò)散泵往往處于很高的溫度環(huán)境下工作，使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。 　　　4.良好的抗腐蝕性和抗乳化性 　　真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會(huì)與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，腐蝕泵內(nèi)零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。 　　　5.較高的閃點(diǎn) 　　主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。 　　6.較低的極限壓力 　　極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在最低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。

真空泵-維護(hù)保養(yǎng)
　　 1、經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時(shí)須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。 　　
2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油，確保真空泵工作正常。 　　
3、換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時(shí)，建議在工作100小時(shí)左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當(dāng)延長換油期限。 　　
4、一般情況下，真空泵工作2000小時(shí)后應(yīng)進(jìn)行檢修，檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個(gè)真空泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對(duì)橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時(shí)應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。 　　
5、有條件的對(duì)管中同樣進(jìn)行清理，確保管路暢通。 　　
6、重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運(yùn)行，一般須空運(yùn)轉(zhuǎn)2小時(shí)并換油二次，因清洗時(shí)在真空泵中會(huì)留有一定量易揮發(fā)物，待運(yùn)轉(zhuǎn)正常后，再投入正常工作。 　　
7、檢查真空泵管路及結(jié)合處有無松動(dòng)現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵，試看真空泵是否靈活。 　　
8、向軸承體內(nèi)加入軸承潤滑機(jī)油，觀察油位應(yīng)在油標(biāo)的中心線處，潤滑油應(yīng)及時(shí)更換或補(bǔ)充。 9、擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注引水（或引漿）。 　　
10、關(guān)好出水管路的閘閥和出口壓力表及進(jìn)口真空表。 　　
11、點(diǎn)動(dòng)電機(jī)，試看電機(jī)轉(zhuǎn)向是否正確。 　　
12、開動(dòng)電機(jī)，當(dāng)真空泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)后，打開出口壓力表和進(jìn)口真空泵，視其顯示出適當(dāng)壓力后，逐漸打開閘閥，同時(shí)檢查電機(jī)負(fù)荷情況。 　　
13、盡量控制真空泵的流量和揚(yáng)程在標(biāo)牌上注明的范圍內(nèi)，以保證真空泵在最高效率點(diǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)，才能獲得最大的節(jié)能效果。 　　
14、真空泵在運(yùn)行過程中，軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35C，最高溫度不得超過80C 。 　　
15、如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。 　　
16、真空泵要停止使用時(shí)，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機(jī)。 　　
17、真空泵在工作第一個(gè)月內(nèi)，經(jīng)100小時(shí)更換潤滑油，以后每個(gè)500小時(shí)，換油一次。 　　
18、經(jīng)常調(diào)整填料壓蓋，保證填料室內(nèi)的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。 　　
19、定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應(yīng)及時(shí)更換。 　　
20、真空泵在寒冬季節(jié)使用時(shí)，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質(zhì)放凈。防止凍裂。 21、真空泵長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉(zhuǎn)動(dòng)部位及結(jié)合處涂以油脂裝好，妥善保管。

真空泵-中國應(yīng)用
　　 中國生產(chǎn)真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右，僅相當(dāng)于美國Kinney公司一家真空泵的年銷售額。通過對(duì)全球真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。中國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ)，國產(chǎn)真空泵已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗(yàn)證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認(rèn)可并受到好評(píng)，應(yīng)該說中國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間。
1.液環(huán)泵
　　 雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵，但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場。在國外，液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中國投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò)，不斷擴(kuò)大在中國的市場份額。由于液環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品，所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì)，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。
2.滑閥泵
　　 由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場，必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運(yùn)行的可靠性。
3.直聯(lián)旋片泵
　　 隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多，加工裝配工作量很大，價(jià)格又很低，所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān)，價(jià)格又遠(yuǎn)比國外的泵便宜，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠，同時(shí)還要進(jìn)一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。
4.羅茨泵
　　 從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計(jì)才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵的價(jià)格遠(yuǎn)比國產(chǎn)泵要高得多。目前，國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入國際市場，這樣就必須進(jìn)一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲，徹底解決軸封漏油問題，改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量，提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運(yùn)行的可靠性。 　　目前，國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵，所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運(yùn)行的考驗(yàn)，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。
5.分子泵
　　 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。 　　由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。
6.干泵
　　 國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動(dòng)來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3／h～500m3／h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，中國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為中國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。
7.水環(huán)泵
　　 水環(huán)真空泵（簡稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱為水環(huán)式壓縮機(jī)，是屬于低壓的壓縮機(jī)，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。 　　水環(huán)泵最初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。 　　如圖：在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入 深度）。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。 　　綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?　　水環(huán)泵和其它類型的機(jī)械真空泵相比有如下優(yōu)點(diǎn)： 　　結(jié)構(gòu)簡單，制造精度要求不高，容易加工。 　　結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。 　　壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。 　　由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。 　　吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。 　　水環(huán)泵也有其缺點(diǎn)： 　　效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%。 　　真空度低，這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強(qiáng)只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液，可達(dá)130Pa。 　　總之，由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點(diǎn)，盡管它效率低，仍然得到了廣泛的應(yīng)用。
[編輯本段]真空泵的相關(guān)名詞術(shù)語解釋
　　 1、真空的定義 　　真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài) 　　　2、真空度 　　處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。 　　3、真空度單位 　　通常用托（Torr）為單位，近年國際上取用帕（Pa）作為單位。 　　1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱 　　4、托與帕的轉(zhuǎn)換 　　1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托 　　5、平均自由程 　　作無規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號(hào)“λ”表示。 　　　6、流量 　　單位時(shí)間流過任意截面的氣體量，符號(hào)用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。 　　　7、流導(dǎo) 　　表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。 U＝Q/(P2- P1) 　　8、壓力或壓強(qiáng) 　　氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。 　　9、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 　　壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓，符號(hào)：（Atm）。 　　10、極限真空 　　真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣，再經(jīng)12小時(shí)抽真空，最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。 　　11、抽氣速率 　　在一定的壓強(qiáng)和溫度下，單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp＝Q/（P－P0） 　　　12、冷阱（水冷擋板） 　　置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。 　　　13、氣鎮(zhèn)閥 　　油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調(diào)節(jié)閥，當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。氣鎮(zhèn)閥14、真空冷凍干燥 　　真空冷凍干燥，也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。 　　15、真空蒸鍍 　　在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。 　　　16、真空干燥 　　利用真空環(huán)境下沸點(diǎn)低的特點(diǎn)來干燥物品的方法。 　　17、真空系統(tǒng)常用名稱 　　(1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。主泵(2)前級(jí)泵：用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。 　　(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗油泵。
[編輯本段]測量方式分類：
　　 　　 1、熱偶真空計(jì) 　　利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計(jì)。 　　　2、電離真空計(jì)（又收熱陰極電離計(jì)） 　　由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。 　　　3、復(fù)合真空計(jì) 　　由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成，測量范圍從大氣~10-5Pa。 　　　4、冷陰極電離計(jì) 　　陽極筒的兩端有一對(duì)陰極板，在外加磁場作用，陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。 　　　5、電阻真空計(jì) 　　利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計(jì)。 　　　6、麥克勞真空計(jì)（壓縮式真空計(jì)） 　　將待測的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種絕對(duì)真空計(jì)。 　　　7、B－A規(guī)電容薄膜真空計(jì) 　　這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲，放在柵網(wǎng)中心，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線影響，延伸測量下限，可測超高真空。電容薄膜真空計(jì)將三種不同的規(guī)管綜合在個(gè)小型經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測量過程壓強(qiáng)和基本壓強(qiáng)從5x10-10至1500毫巴。電容薄膜真空計(jì)由于具有測量精度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、測量結(jié)果與氣體成分無關(guān)以及抗腐蝕、耐氣壓沖擊等一系列優(yōu)點(diǎn)，因而越來越受到人們的重視。以它取代水銀壓力計(jì)、油壓計(jì)、電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)以至部分地取代電離計(jì)。
[編輯本段]真空泵名稱解釋
　　 1、水環(huán)真空泵 　　泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán)。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。 　　2、往復(fù)真空泵 　　利用活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。 　　3、油封機(jī)械真空泵 　　用油來保持密封的機(jī)械真空泵，可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。 　　4、羅茨真空泵 　　具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵，此泵不可以單獨(dú)抽氣，前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。 　　5、渦輪分子真空泵 　　有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪，當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí)就被驅(qū)向出氣口再由前級(jí)泵抽除。 　　6、油擴(kuò)散真空泵 　　擴(kuò)散泵噴口中噴出高速蒸汽流。在分子流條件下，氣體分子不斷地向蒸流中擴(kuò)散，并被蒸汽帶向泵出口處逐級(jí)被壓縮后再由前級(jí)泵排除。 　　7、低溫真空泵 　　利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。
[編輯本段]旋片式真空泵的工作原理說明
　　 如圖為旋片泵的工作原理示意圖，旋片泵主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。其結(jié)構(gòu)是利用偏心地裝在定子腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子（轉(zhuǎn)子的外圓與定子的內(nèi)表面相切兩者之間的間隙非常�。┖娃D(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)的借助彈簧張力和離心力緊貼在定子內(nèi)壁的兩塊旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，始終沿定子的內(nèi)壁滑動(dòng)。 　　兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、定子內(nèi)腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個(gè)部分，當(dāng)轉(zhuǎn)子按圖示方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A的容積不斷地增大，A空間的壓強(qiáng)不斷的降低，當(dāng)A空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng)，根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理，被抽的氣體不斷地被抽進(jìn)吸氣腔A，此時(shí)正處于吸氣過程。B腔的空間的容積正逐漸減小，壓力不斷地增大，此時(shí)正處于壓縮過程。而與排氣口相通的空間C的容積進(jìn)一步地減小，C空間的壓強(qiáng)進(jìn)一步的升高，當(dāng)氣體的壓強(qiáng)大于排氣壓強(qiáng)時(shí)，被壓縮的氣體推開排氣閥，被抽的氣體不斷地穿過油箱內(nèi)的油層而排至大氣中，在泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，不斷地進(jìn)行著吸氣、壓縮、排氣過程，從而達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。 　　排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中，油通過泵體上的間隙、油孔及排氣閥進(jìn)入泵腔，使泵腔內(nèi)所有運(yùn)動(dòng)的表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔的密封，同時(shí)油還充滿了一切有害空間，以消除它們對(duì)極限真空的影響。 　　screen.width-333)this.width=screen.width-333"> 　　旋片泵工作原理圖 　　1-泵體;2-旋片;3-轉(zhuǎn)子; 4-彈簧;5-排氣閥 　　雙級(jí)旋片式真空泵由兩個(gè)工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，Ⅰ室是低真空級(jí)，Ⅱ室是高真空級(jí)，被抽氣體由進(jìn)氣口進(jìn)入Ⅱ室，當(dāng)進(jìn)入的氣體壓力較高時(shí)，氣體經(jīng)Ⅱ室壓縮，壓強(qiáng)急速增大，被壓縮的氣體不僅從高級(jí)排氣閥排出，而且經(jīng)過中壁通道，進(jìn)入Ⅰ室，在Ⅰ室被壓縮，從低級(jí)排氣閥排出；當(dāng)進(jìn)入Ⅱ室的氣體壓力較低時(shí)，雖經(jīng)Ⅱ室的壓縮，也推不開高級(jí)排氣閥排出，氣體全部經(jīng)中壁通道進(jìn)入Ⅰ室，經(jīng)Ⅰ室的繼續(xù)壓縮，由低級(jí)排氣閥排出，因此雙級(jí)旋片式真空泵比單級(jí)旋片式真空泵的極限真空高。 　　screen.width-333)this.width=screen.width-333"> 　　雙級(jí)旋片式真空泵工作原理圖 　　1-高級(jí)排氣閥;2-通道;3-低級(jí)排氣閥 　　真空泵在真空系統(tǒng)中所起的作用 由于各種真空泵的性能除均能滿足對(duì)容器進(jìn)行抽真空的共同點(diǎn)之外，尚具有不同之處。因此在選用時(shí)必須明確泵在真空系統(tǒng)中所承擔(dān)的工作任務(wù)是十分重要的，泵在各種不同工作領(lǐng)域中所起的作用歸納起來主要有如下幾個(gè)方面：　1、主泵　所謂主泵就是對(duì)真空系統(tǒng)被抽容器直接進(jìn)行抽真空，以獲得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。　2、粗抽泵　粗抽泵是指從大氣壓開始降低真空系統(tǒng)壓強(qiáng)達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)可以開始工作的真空泵�！�3、前級(jí)泵　前級(jí)泵是指用于使另一個(gè)泵的前級(jí)壓強(qiáng)維持在其最高許可的前級(jí)壓強(qiáng)以下的真空泵�！�4、維持泵　維持泵是指當(dāng)真空系統(tǒng)抽氣很小時(shí)，不能有效的利用主要前級(jí)泵。為此，在真空系統(tǒng)中另配一種抽氣速度較小的輔助前級(jí)泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。　5、粗真空泵或低真空泵　粗、低真空泵是指從大氣開始，降低被抽容器的壓強(qiáng)后工作在低真空或粗真空壓強(qiáng)范圍內(nèi)的真空泵�！�6、高真空泵　高真空泵是指在高真空范圍工作的真空泵�！�7、超高真空泵　超高真空泵是指在超高真空范圍工作的真空泵。　8、增壓泵　增壓泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之間，用以提高抽氣系統(tǒng)在中間壓強(qiáng)范圍的抽氣量或降低前級(jí)泵抽氣速率要求的真空泵。